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    全自動納米壓印設備

    所屬分類:設備

    產品規格:

    發布時間:2023-06-29

    訪問數量:183

    咨詢詳情

    產品概述:

    1、8/12兼容

    兼容8inch、12inch基板,可便捷更換。


    2、模塊化設計

    1.整機采用模塊化設計,集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模塊。

    2.可根據對量產能力的需求,增加子模塊,具有良好的拓展性。


    3、高精度

    1.壓印最小線寬30nm

    2.深寬比達10:1

    3.與母版尺寸偏差<3%

    4.對位精度±2um


    4、高量產能力

    1.UPH 30

    2.具備優良的穩定性


    5、全自動

    1.配合光舵自研的智能操控軟件,所有動作均可全自動完成。

    2.并提供實時監控畫面,對重點過程做監控。


    6、高潔凈等級

    1.設備腔內環境可達到class 1

    2.與母版的數據偏差<3%

    3.片間尺寸偏差<3%


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    設備對位壓印能力:≤2um

    配合高精度平臺,設備可提供穩定的對位能力,并完成偏心補償


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