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    量產型納米壓印設備

    所屬分類:設備

    產品規格:GD-2C-N-R300

    發布時間:2022-08-17

    訪問數量:1207

    咨詢詳情

    產品概述:

    型號:GD-2C-N-R300


    設備性能:

    12英寸晶圓及以下兼容

    晶圓預清洗,勻膠,及冷熱板功能

    全自動晶圓傳送

    全自動柔性模板制作及自動壓印工藝流程

    最低線寬小于20nm

    壓印深寬比至10:1

    兼容高刻蝕比壓印膠壓印

    常熟工廠地址:常熟市虞山高新區建業路2號常熟先進制造業科技園7C棟1樓,2樓

    蘇州工業園區地址:蘇州工業園區納米城13棟302

    電話:0512 51915206

    郵箱:47179145@qq.com, service@gdnano.com

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